Единая карта десяти систем Actmass: назначение, измерительный результат, ключевые компоненты, документы и переходы к подробным карточкам.
Каталог помогает собрать короткий список решений, но не заменяет согласование точки отбора, давления, целевых компонентов, времени отклика и программы приёмки.
Карта выбора
Задача → система → компоненты
Измерительная задача
Остаточные газы и чистота камеры
Сравнение фонового спектра, следовых примесей и изменений между одинаковыми стадиями вакуумного процесса.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Переносная и мобильная диагностика
Измерения в нескольких точках, сервисные проверки и поиск причины без постоянной установки отдельного анализатора.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Диагностика вакуумной системы
Контроль чистоты, газовой нагрузки, негерметичности и изменений состояния камеры или линии откачки.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Анализ технологического газа
Наблюдение состава потока или стадии процесса с известной точкой отбора, задержкой и измерительным рецептом.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Поиск утечек газового тракта
Локализация поступления газа по изменению выбранных масс, фону и отклику на контролируемое воздействие.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Газовыделение материалов и узлов
Разделение вклада образца и пустого стенда при заданной температурной программе и эффективной скорости откачки.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Герметичность аккумуляторной ячейки
Проверка жёсткой или пакетной ячейки в оснастке с фоновым и контрольным циклом.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Герметичность PACK-модуля
Испытание корпуса, соединений или отдельного контура крупного собранного модуля.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Газовыделение электрохимической системы
Синхронное наблюдение масс-сигналов, тока и потенциала с учётом транспорта газа и калибровки.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Измерительная задача
Нестандартный вакуумный стенд
Проектирование камеры, откачки, измерений, прогрева и автоматизации вокруг конкретного процесса.
Связанные системы
Ключевые компоненты
Полупроводниковые процессы
RGA — анализатор остаточных газов
Контроль состава газовой среды и парциальных давлений непосредственно в вакуумных процессах.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Массовый спектр в выбранном диапазоне
- Временные тренды выбранных масс
- Сравнение фона, прогрева и технологических стадий
- Парциальные давления после калибровки для конкретного газа
Ключевые компоненты
Полупроводниковые процессы
PGA — портативный газоанализатор
Переносная система квадрупольного анализа для вакуумной диагностики, технологических газов и поиска утечек.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Спектр остаточных и технологических газов
- Тренды целевых масс при сервисной диагностике
- Сравнение нескольких точек по единому рецепту
- Данные для поиска утечки или контроля очистки
Ключевые компоненты
Полупроводниковые процессы
BLD-02 — мобильный газовый анализатор
Мобильная станция для анализа газов и процессов в разных точках производства.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Спектры и тренды по нескольким точкам производства
- Синхронная запись внешних аналоговых и цифровых сигналов
- Результаты сервисного поиска утечек
- Протокол фона и контрольного спектра после перемещения
Ключевые компоненты
Полупроводниковые процессы
MLS211 — онлайн-масс-спектрометр
Интегрированная система для непрерывного анализа газов, наблюдения за процессом и передачи результатов в АСУ.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Непрерывные тренды выбранных масс
- Полные контрольные спектры по расписанию
- Сигналы тревоги после валидации порогов
- Архив данных для сопоставления с рецептом процесса
Ключевые компоненты
Полупроводниковые процессы
MLS211M — процессный газоанализатор
Интегрированная система для процессного газового контроля, проверки чистоты камеры и определения окончания технологической стадии.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Тренды технологических и фоновых масс
- Признак окончания стадии после валидации
- События чистоты или отклонения процесса
- Записи SECS/GEM для MES и прослеживаемости
Ключевые компоненты
Полупроводниковые процессы
OGMS — измерение скорости газовыделения
Индивидуальная система для измерения газовыделения материалов, узлов и изделий в контролируемых вакуумных условиях.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Скорость газовыделения по согласованной базе нормирования
- Временная зависимость газовой нагрузки
- Компонентные тренды выбранных масс
- Сравнение образца с пустой камерой или эталонным материалом
Ключевые компоненты
Новая энергетика
BLD-01 — контроль утечек аккумуляторных ячеек
Система обнаружения утечки компонентов электролита для жёстких и пакетных аккумуляторных ячеек.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Результат годен/не годен по согласованной методике
- Тренды целевых масс и фонового сигнала
- Протокол контрольного воздействия
- Данные цикла и идентификатор изделия для производственной системы
Ключевые компоненты
Новая энергетика
BLD-02 — контроль герметичности PACK-модулей
Отдельное направление контроля герметичности собранных аккумуляторных модулей и корпусов PACK.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Результат по выбранному герметичному контуру
- Протокол фонового и контрольного циклов
- Время стабилизации и восстановления
- Данные для маркировки и производственной прослеживаемости
Ключевые компоненты
Новая энергетика
DEMS — анализ газовыделения
Наблюдение непосредственно в процессе за газами и летучими продуктами электрохимических реакций во времени.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Временные профили газов и летучих продуктов
- Сопоставление масс-сигнала с током и потенциалом
- Качественная идентификация побочных реакций
- Количественный поток после калибровки и коррекции задержки
Ключевые компоненты
Вакуумные технологии
Индивидуальные вакуумные системы
Проектирование вакуумного стенда вокруг процесса, камеры, откачки, измерения и автоматизации.
Задачи выбора
Измерительный результат
- Рабочий вакуумный цикл по согласованной программе
- Кривая откачки и протокол предельного давления
- Данные вакуумметров и газового анализа
- Журнал состояний, блокировок и аварий
Ключевые компоненты
Системы по выбранным условиям не найдены. Сбросьте фильтры или измените запрос.