Перейти к содержимому
Обсудить задачу

Масс-спектрометрические системы Actmass

Газовый анализ, вакуум и герметичность

Оборудование и инженерная конфигурация для полупроводниковых процессов, аккумуляторных систем и вакуумных установок — от измерительной задачи до проверяемых критериев приёмки.

Подобрать системуКаталог задачОборудование
Анализатор остаточных газов RGA Actmass

Изображение оборудования: официальный сайт производителя ACT-MASS

10технических страниц
10PDF-листов для проекта
Источникиофициальные данные, патенты и статьи

Данные для решения

На странице — не только название прибора

01

Диапазон и режим

Публикуем только параметры, найденные в первичных материалах, вместе с условиями измерения.

02

Исходные данные

Фиксируем давление, газы, тракт, интерфейсы и процессные ограничения до выбора конфигурации.

03

Критерии приёмки

Заранее определяем фон, повторяемость, время отклика, герметичность или контрольный цикл.

04

Технический PDF

Каждая продуктовая страница сопровождается отдельным документом для обсуждения проекта.

01 / Направления

Система начинается с процесса

01Полупроводниковые процессыRGA, PGA, мобильный BLD-02, MLS211, MLS211M и OGMS02Новая энергетикаBLD-01, BLD-02 PACK и DEMS03Вакуумные технологииИндивидуальные камеры, откачка и автоматизация

02 / Оборудование

От анализатора до производственного комплекса

01

Полупроводниковые процессы

PGA

PGA — портативный газоанализатор

Переносная система квадрупольного анализа для вакуумной диагностики, технологических газов и поиска утечек.

Исполнения
PGA F1/F2/F3 и PGA M1/M2/M3
Диапазон масс
1–100 u; опции 1–200 и 1–300 u
Детектор
Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея
Подробнее →PDF ↓

MLS211

MLS211 — онлайн-масс-спектрометр

Интегрированная система для непрерывного анализа газов, наблюдения за процессом и передачи результатов в АСУ.

Диапазон масс
1–100, 1–200 или 1–300 u
Детектор
Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея
Квадруполь
Ø 6 mm / длина 125 mm
Подробнее →PDF ↓

MLS211M

MLS211M — процессный газоанализатор

Интегрированная система для процессного газового контроля, проверки чистоты камеры и определения окончания технологической стадии.

Диапазон масс
1–300 u
Разрешение
0,5–2,5 u
Диапазон общего давления
5·10⁻⁹–1000 mbar
Подробнее →PDF ↓

OGMS

OGMS — измерение скорости газовыделения

Индивидуальная система для измерения газовыделения материалов, узлов и изделий в контролируемых вакуумных условиях.

Исполнение камеры
По образцу и программе испытаний
Температурный режим
По материалу и методике
Метод регистрации
Общее давление и/или парциальные давления — по конфигурации
Подробнее →PDF ↓
02

Новая энергетика

BLD-02 PACK

BLD-02 — контроль герметичности PACK-модулей

Отдельное направление контроля герметичности собранных аккумуляторных модулей и корпусов PACK.

Объект
Собранный PACK-модуль, корпус или отдельный контур
Камера
По габаритам, массе и способу загрузки изделия
Метод
Определяется контролируемым контуром и трассером
Подробнее →PDF ↓

DEMS

DEMS — анализ газовыделения

Наблюдение непосредственно в процессе за газами и летучими продуктами электрохимических реакций во времени.

Режим
Непосредственно в процессе, по временной программе
Сигналы
Масс-спектрометрия синхронно с током и потенциалом
Ячейка
По электрохимической системе и требуемому газообмену
Подробнее →PDF ↓
03

Вакуумные технологии

Custom Vacuum

Индивидуальные вакуумные системы

Проектирование вакуумного стенда вокруг процесса, камеры, откачки, измерения и автоматизации.

Рабочее и предельное давление
По технологическому процессу
Камера
По объёму, материалам, тепловому режиму и чистоте
Откачка
По газовой нагрузке, проводимости и времени цикла
Подробнее →PDF ↓

03 / Инженерный метод

Четыре шага до обоснованной конфигурации

01

Определить среду

Давление, газы, пары, температура и ожидаемые концентрации.

02

Задать измерение

Диагностика состава, процессный контроль, утечка или газовыделение.

03

Спроектировать тракт

Точка отбора, защита анализатора, время отклика и вакуумная часть.

04

Согласовать интеграцию

Оснастка, интерфейсы, автоматизация, критерии приёмки и проверка.

Пройти подборКаталог задачИзучить компонентыОбъединённый каталог

04 / Открытый реестр

Проверенные опубликованные разработки

Статус каждой записи указан точно: заявка не называется выданным патентом.

Открыть реестр
CN222913726U
Выданная полезная модель · Active CN120497117A
Опубликованная заявка · Withdrawn CN118706929A
Опубликованная заявка · Pending CN118817415A
Опубликованная заявка · Withdrawn

05 / Исследовательская база

Методика сверяется с практикой отрасли

Для каждой продуктовой задачи мы отделяем официальные параметры Actmass от инженерных выводов из патентов других правообладателей и рецензируемых публикаций.

Исследования помогают определить отбор пробы, защиту анализатора, калибровку, транспортную задержку и критерии проверки. Они не переносятся в таблицу характеристик как свойства конкретного изделия.

Открыть опубликованные разработки →

06 / База знаний

Понимать измерение до выбора прибора

Все материалы →