Назначение и границы
MLS211 объединяет масс-спектрометр, безмасляную вакуумную систему, измерение давления, дозирующий клапан и программное управление. Система ориентирована на длительное наблюдение за выбранными массами и обмен с верхним уровнем автоматизации.
Официальная таблица задаёт варианты диапазона и детектора, откачку, вакуумметр, дозирующий клапан, интерфейс и условия работы анализатора. Давление перед и после узла отбора рассматривают раздельно.
Для процесса заранее определяют точку отбора, компоненты калибровки, допустимую задержку, процедуру восстановления после загрязнения, алгоритм тревог и набор данных, передаваемый в АСУ.
Физическая основа
Принцип работы
MLS211 непрерывно дозирует газ из процесса в безмасляный высоковакуумный тракт. Вакуумметр контролирует режим отбора, квадруполь измеряет последовательность масс, а программное управление сохраняет спектры и передаёт значения верхнему уровню. Измерительная функция определяется совместно рецептом, калибровкой и логикой тревог.
Технологический граф
Измерительный тракт
Последовательность показывает, где формируется результат и какие узлы проверяются совместно.
- Процессная точкаПроба отбирается из выбранного режима установки с зафиксированным давлением.
- Дозирующий клапанСтабилизирует поступление газа и отделяет процессное давление от анализатора.
- Безмасляная откачкаФормирует рабочий вакуум и контролируемый собственный фон системы.
- Квадрупольный анализИзмеряются полный спектр или набор выбранных масс во времени.
- АСУ и архивРезультаты, состояния и тревоги связываются с этапами процесса.
Функциональный состав
Компоненты измерительной системы
Перечень показывает узлы, упомянутые в описании и измерительном тракте. Точная комплектация подтверждается для проекта.
Навигация по применению
Задачи, для которых рассматривают систему
Ссылки открывают каталог с уже выбранной задачей. Окончательный выбор зависит от точки отбора, давления, состава среды, времени отклика и интеграции.
Результаты
Что получает пользователь
- Непрерывные тренды выбранных масс
- Полные контрольные спектры по расписанию
- Сигналы тревоги после валидации порогов
- Архив данных для сопоставления с рецептом процесса
Области применения
Матрица выбора
Комбинации диапазона и детектора
Официальная таблица MLS211 задаёт шесть сочетаний, но не присваивает им отдельные заводские индексы; ниже использованы описательные названия.
| Комбинация | Диапазон масс | Детектор | Мин. парциальное давление | Влияние соседней массы 40/41 |
|---|---|---|---|---|
| Faraday · 100 u | 1–100 u | Чашка Фарадея | 4·10⁻¹³ hPa | 10 ppm |
| Faraday · 200 u | 1–200 u | Чашка Фарадея | 5·10⁻¹³ hPa | 20 ppm |
| Faraday · 300 u | 1–300 u | Чашка Фарадея | 7·10⁻¹³ hPa | 50 ppm |
| C-SEM · 100 u | 1–100 u | C-SEM + чашка Фарадея | 3·10⁻¹⁵ hPa | 10 ppm |
| C-SEM · 200 u | 1–200 u | C-SEM + чашка Фарадея | 4·10⁻¹⁵ hPa | 20 ppm |
| C-SEM · 300 u | 1–300 u | C-SEM + чашка Фарадея | 5·10⁻¹⁵ hPa | 50 ppm |
Названия строк нормализованы для навигации и не являются обозначениями моделей. Значения сохранены в исходной единице hPa.
Исходные данные
Что нужно определить до конфигурации
- Давление и состав в точке отбора во всех режимах процесса
- Целевые массы, диапазоны сигнала и компоненты калибровки
- Допустимые время отклика и объём линии отбора
- Материалы, подогрев и защита от конденсации/частиц
- Карта I/O, формат данных, тревоги и действия АСУ
Приёмка
Что проверяют на стенде
- Фон и дрейф после заданного времени стабилизации
- Калибровка выбранных компонентов в рабочем диапазоне
- Проверка времени отклика полного измерительного тракта
- Сквозная проверка данных и тревог в АСУ
Инженерные границы
Что нельзя выводить из паспортной строки
- Давление и состав в линии отбора могут отличаться от основной зоны процесса
- Дозирующий узел и стенки тракта задают задержку и память
- Порог тревоги нельзя обосновать одним паспортным пределом обнаружения
- Конденсируемые и агрессивные компоненты требуют совместимых материалов и обслуживания
- Количественный результат относится к откалиброванной конфигурации
Патенты и научные публикации
Основания инженерной методики
Публикации Actmass по теме
Патентная связь показывает направление разработки, но не доказывает включение описанного узла в конкретную комплектацию.
