Справочник узлов, которые формируют измерительный результат: от точки отбора и вакуумной части до квадруполя, детектора и автоматизации.
Компонент в справочнике означает функциональный узел системы, а не подтверждение его включения в любую комплектацию. Связь с продуктами построена по опубликованным описаниям и проверяется для конкретного проекта.
Пробоотбор и газовый тракт
Точка подключения и пробоотборный тракт
Фланец, трубка или линия между объектом и анализатором определяют представительность пробы, задержку и газовую память.
Что согласовать
- Давление, температура, длина и внутренний диаметр
- Материалы, герметичность, очистка и допустимый расход
Также ищут: пробоотбор · линия пробы · газовая линия · вакуумный порт
Связанные системы
Технический разбор →Пробоотбор и газовый тракт
Подогреваемая линия отбора
Управляемый нагрев капилляра или линии снижает риск конденсации и удержания малолетучих компонентов, но температуру выбирают по составу пробы и материалам тракта.
Что согласовать
- Температура по всей смоченной длине, холодные точки и теплоизоляция
- Материал, внутренний объём, время отклика, память и процедура очистки
Также ищут: подогреваемая линия отбора · обогреваемый капилляр · heated capillary · heated sample line
Связанные системы
Технический разбор →Пробоотбор и газовый тракт
Дозирование и снижение давления
Капилляр, дроссель или дозирующий клапан согласуют давление объекта с рабочим режимом масс-спектрометра.
Что согласовать
- Стабильность расхода и положения клапана
- Время транспорта, фон и восстановление после пробы
Также ищут: дроссель · капилляр · дозирующий клапан · редуцирование давления
Связанные системы
Технический разбор →Пробоотбор и газовый тракт
Защитная ступень газового тракта
Сепаратор, фильтр или мембрана защищают анализатор от жидкости, частиц и аэрозоля, но могут менять состав и задержку пробы.
Что согласовать
- Прохождение целевых компонентов и селективность
- Состояние элемента, фон, обслуживание и замена
Также ищут: фильтр · мембрана · сепаратор · защита анализатора
Связанные системы
Технический разбор →Вакуумная часть
Вакуумная или испытательная камера
Объём, материалы, уплотнения, поверхность и температура камеры формируют собственную газовую нагрузку и фон.
Что согласовать
- Габариты объекта, загрузка и доступ к обслуживанию
- Пустой цикл, герметичность, прогрев и воспроизводимость фона
Также ищут: испытательная камера · вакуумный объём · камера герметичности · стендовая камера
Связанные системы
Технический разбор →Вакуумная часть
Вакуумная система и ступени откачки
Насосы и соединения задают достижимое давление, эффективную скорость у объекта, чистоту и время выхода на режим.
Что согласовать
- Газовая нагрузка, проводимость и эффективная скорость
- Совместимость материалов, обратный поток и безопасная остановка
Также ищут: вакуумный насос · турбомолекулярный насос · форвакуумный насос · турбонасос
Связанные системы
Технический разбор →Насосные ступени
Турбомолекулярная ступень
Высоковакуумная ступень поддерживает рабочее давление масс-анализатора и работает только совместно с допустимым форвакуумом на выходе.
Что согласовать
- Скорость по целевому газу, газовая нагрузка и проводимость входа
- Допустимое форвакуумное давление, охлаждение, ориентация и аварийная остановка
Также ищут: турбомолекулярный насос · турбонасос · TMP · высоковакуумная насосная ступень
Связанные системы
Технический разбор →Насосные ступени
Форвакуумный насос
Форвакуумная ступень выполняет предварительную откачку и поддерживает давление на выходе турбомолекулярного насоса.
Что согласовать
- Производительность при рабочей газовой нагрузке и предельное давление
- Безмасляность, совместимость с газом, выхлоп, шум и обслуживание
Также ищут: предвакуумный насос · backing pump · roughing pump · насос предварительной откачки
Связанные системы
Технический разбор →Вакуумная часть
Вакуумметр и контроль давления
Измерение общего давления дополняет масс-спектр и участвует в блокировках, защите источника и регистрации режима.
Что согласовать
- Диапазон, тип датчика и расположение
- Газозависимость, калибровка и аварийные пороги
Также ищут: датчик давления · манометр · вакуумный датчик · контроль вакуума
Связанные системы
Технический разбор →Вакуумная часть
Прогрев и температурный контроль
Температурная программа влияет на десорбцию, фон, скорость газовыделения и повторяемость измерительного цикла.
Что согласовать
- Рабочая температура и допустимые материалы
- Расположение датчиков, скорость изменения и выдержка
Также ищут: нагрев · термостатирование · bakeout · температурный датчик
Связанные системы
Технический разбор →Масс-спектрометр
Ионный источник
Источник переводит нейтральные молекулы в ионы; энергия и режим ионизации определяют фрагментацию и интенсивность сигнала.
Что согласовать
- Режим эмиссии, чистота и защита от перегрузки
- Стабильность после прогрева и контрольный спектр
Также ищут: электронная ионизация · EI · эмиссия · филамент
Связанные системы
Технический разбор →Масс-спектрометр
Квадрупольный масс-анализатор
Четырёхстержневой фильтр последовательно пропускает ионы выбранного отношения массы к заряду и формирует массовую шкалу.
Что согласовать
- Диапазон масс, разрешение и форма пика
- Стабильность шкалы, скорость сканирования и повторяемость
Также ищут: квадруполь · масс-фильтр · QMS · RF/DC
Связанные системы
Технический разбор →Масс-спектрометр
Чашка Фарадея
Коллектор непосредственно преобразует поток ионов в электрический ток и подходит для устойчивых сравнительных измерений.
Что согласовать
- Шум, нулевая линия и линейность
- Диапазон сигналов и согласованный режим накопления
Также ищут: FC · коллектор ионов · детектор Фарадея · ионный ток
Связанные системы
Технический разбор →Масс-спектрометр
Электронный умножитель
Умножитель усиливает слабые ионные сигналы, но коэффициент усиления зависит от нагрузки, настройки и ресурса.
Что согласовать
- Усиление, шум и защита от высокого сигнала
- Контроль чувствительности и история эксплуатации
Также ищут: ЭУ · SEM · C-SEM · усилитель ионов
Связанные системы
Технический разбор →Герметичность и электрохимия
Испытательная оснастка
Оснастка фиксирует изделие, электрические выводы и уплотнения, определяя мёртвый объём и повторяемость цикла.
Что согласовать
- Геометрия, уплотнения и безопасная загрузка
- Фоновый цикл, очистка и воспроизводимое позиционирование
Также ищут: камера-оснастка · зажим ячейки · герметичная оснастка · ложемент
Связанные системы
Технический разбор →Герметичность и электрохимия
Контрольный источник или образец течи
Контролируемое воздействие проверяет чувствительность полного тракта, время отклика и восстановление фона.
Что согласовать
- Состав, температура, хранение и состояние источника
- Повторяемость, фон и проверка после обслуживания
Также ищут: эталонная течь · контрольная течь · калиброванная течь · контрольный образец
Связанные системы
Технический разбор →Герметичность и электрохимия
Подача и регистрация трассера
Выбор трассера, способ его подачи и регистрация сигнала связываются с материалами, объёмом объекта и программой испытания.
Что согласовать
- Совместимость трассера с изделием и методом
- Фоновый сигнал, безопасность и удаление после цикла
Также ищут: трассер · подача газа · газ-метка · регистрация трассера
Связанные системы
Технический разбор →Герметичность и электрохимия
Электрохимическая ячейка
Ячейка задаёт геометрию, электрический режим, газовый объём и границу между реакцией и измерительным трактом DEMS.
Что согласовать
- Химия, электроды, электролит и программа цикла
- Газовый объём, герметизация, выводы и синхронизация
Также ищут: DEMS-ячейка · поточная ячейка · электрохимический реактор · pouch-ячейка
Связанные системы
Технический разбор →Автоматизация
Управление, сигналы и архив
Контроллер связывает клапаны, давление, спектр, внешние сигналы, тревоги и сохранение результатов по единой временной шкале.
Что согласовать
- Состав входов, выходов, блокировок и тревог
- Временные метки, исходные данные, журнал и реакция на отказ
Также ищут: PLC · АСУ · ввод-вывод · архив данных
Связанные системы
Технический разбор →Автоматизация
SECS/GEM и связь с MES
Производственный интерфейс передаёт состояния и результаты, но технологические пороги и семантика сообщений требуют валидации.
Что согласовать
- Список сообщений, переменных, событий и команд
- Синхронизация времени, потеря связи и хранение первичных данных
Также ищут: MES · протокол SECS · GEM · автоматизация полупроводников
Связанные системы
Технический разбор →Компоненты по выбранным условиям не найдены.