Перейти к содержимому

10 технических систем

Каталог Actmass

Газовый анализ, контроль герметичности, исследование газовыделения и индивидуальные вакуумные системы.

В каждой карточке показаны ключевые параметры и доступна прямая загрузка технического листа PDF. Полные данные, критерии приёмки и связанные решения собраны на странице продукта.

Параметры публикуются только при наличии проверяемого источника. Конфигурации, зависящие от процесса или изделия, обозначены как предмет инженерного расчёта.

Оглавление каталога

01

Полупроводниковые процессы

PGA

PGA — портативный газоанализатор

Переносная система квадрупольного анализа для вакуумной диагностики, технологических газов и поиска утечек.

Исполнения
PGA F1/F2/F3 и PGA M1/M2/M3
Диапазон масс
1–100 u; опции 1–200 и 1–300 u
Детектор
Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея

MLS211

MLS211 — онлайн-масс-спектрометр

Интегрированная система для непрерывного анализа газов, наблюдения за процессом и передачи результатов в АСУ.

Диапазон масс
1–100, 1–200 или 1–300 u
Детектор
Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея
Квадруполь
Ø 6 mm / длина 125 mm

MLS211M

MLS211M — процессный газоанализатор

Интегрированная система для процессного газового контроля, проверки чистоты камеры и определения окончания технологической стадии.

Диапазон масс
1–300 u
Разрешение
0,5–2,5 u
Диапазон общего давления
5·10⁻⁹–1000 mbar

OGMS

OGMS — измерение скорости газовыделения

Индивидуальная система для измерения газовыделения материалов, узлов и изделий в контролируемых вакуумных условиях.

Исполнение камеры
По образцу и программе испытаний
Температурный режим
По материалу и методике
Метод регистрации
Общее давление и/или парциальные давления — по конфигурации
02

Новая энергетика

BLD-02 PACK

BLD-02 — контроль герметичности PACK-модулей

Отдельное направление контроля герметичности собранных аккумуляторных модулей и корпусов PACK.

Объект
Собранный PACK-модуль, корпус или отдельный контур
Камера
По габаритам, массе и способу загрузки изделия
Метод
Определяется контролируемым контуром и трассером

DEMS

DEMS — анализ газовыделения

Наблюдение непосредственно в процессе за газами и летучими продуктами электрохимических реакций во времени.

Режим
Непосредственно в процессе, по временной программе
Сигналы
Масс-спектрометрия синхронно с током и потенциалом
Ячейка
По электрохимической системе и требуемому газообмену
03

Вакуумные технологии

Custom Vacuum

Индивидуальные вакуумные системы

Проектирование вакуумного стенда вокруг процесса, камеры, откачки, измерения и автоматизации.

Рабочее и предельное давление
По технологическому процессу
Камера
По объёму, материалам, тепловому режиму и чистоте
Откачка
По газовой нагрузке, проводимости и времени цикла