Назначение и границы
OGMS формируется вокруг испытательной и фоновой камер, вакуумной системы, известной проводимости и газоаналитического тракта. Универсальной числовой конфигурации производитель не публикует.
Исследования разностного метода и метода известной проводимости показывают, что для количественного результата требуется отдельно учитывать фон камеры, эффективную скорость откачки, газозависимую чувствительность и временно-температурную программу.
В техническом задании фиксируют площадь и подготовку образца, допустимый прогрев, целевые компоненты, метод расчёта, продолжительность измерения и критерий стабилизации.
Физическая основа
Принцип работы
Скорость газовыделения определяют по дополнительной газовой нагрузке, создаваемой образцом относительно пустой камеры. Общее давление и массовый спектр измеряют при известной эффективной скорости откачки или проводимости. Результат нормируют на площадь, массу либо единицу изделия и привязывают ко времени и температуре.
Технологический граф
Измерительный тракт
Последовательность показывает, где формируется результат и какие узлы проверяются совместно.
- Подготовка образцаФиксируются материал, площадь или масса, очистка, хранение и время до испытания.
- Камера и прогревОбразец проходит заданную температурно-временную программу в контролируемом объёме.
- Откачка и проводимостьОпределяются давление, эффективная скорость и режим потока у камеры.
- Давление и спектрИзмеряются общая газовая нагрузка и изменения выбранных масс.
- Вычитание фонаРезультат сравнивается с пустым циклом и нормируется по согласованной базе.
Функциональный состав
Компоненты измерительной системы
Перечень показывает узлы, упомянутые в описании и измерительном тракте. Точная комплектация подтверждается для проекта.
Навигация по применению
Задачи, для которых рассматривают систему
Ссылки открывают каталог с уже выбранной задачей. Окончательный выбор зависит от точки отбора, давления, состава среды, времени отклика и интеграции.
Результаты
Что получает пользователь
- Скорость газовыделения по согласованной базе нормирования
- Временная зависимость газовой нагрузки
- Компонентные тренды выбранных масс
- Сравнение образца с пустой камерой или эталонным материалом
Области применения
Исходные данные
Что нужно определить до конфигурации
- Материал, площадь, масса, геометрия и подготовка образца
- Температурная программа и допустимая скорость нагрева
- Требуемый общий и компонентный показатель газовыделения
- Целевые газы, диапазон и способ калибровки
- Фоновый цикл, продолжительность и критерий стабилизации
Приёмка
Что проверяют на стенде
- Раздельное измерение пустой камеры и камеры с образцом
- Проверка эффективной скорости откачки и проводимости
- Контрольный газовый поток или эталонный источник
- Повторяемость результата на согласованном образце
Инженерные границы
Что нельзя выводить из паспортной строки
- Фон камеры и уплотнений может быть сопоставим с вкладом образца
- Эффективная скорость откачки зависит от газа и геометрии тракта
- Температура и история подготовки существенно меняют результат
- Масс-спектрометрический сигнал компонента требует отдельной калибровки
- Параметры камеры и диапазон нельзя назначить без характеристик образца
Патенты и научные публикации
