Перейти к содержимому
Главная / Оборудование 10 технических систем
Каталог Actmass
Газовый анализ, контроль герметичности, исследование газовыделения и индивидуальные вакуумные системы.
В каждой карточке показаны ключевые параметры и доступна прямая загрузка технического листа PDF. Полные данные, критерии приёмки и связанные решения собраны на странице продукта.
Параметры публикуются только при наличии проверяемого источника. Конфигурации, зависящие от процесса или изделия, обозначены как предмет инженерного расчёта.
01 Полупроводниковые процессы
RGA / PGT
Контроль состава газовой среды и парциальных давлений непосредственно в вакуумных процессах.
Модельный ряд PGT100F, PGT100M, PGT200F, PGT200M
Диапазон масс 100 или 200 amu
Длина сенсора 14,4 cm (FC) / 19,6 cm (EM)
PGA
Переносная система квадрупольного анализа для вакуумной диагностики, технологических газов и поиска утечек.
Исполнения PGA F1/F2/F3 и PGA M1/M2/M3
Диапазон масс 1–100 u; опции 1–200 и 1–300 u
Детектор Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея
BLD-02 Mobile
Мобильная станция для анализа газов и процессов в разных точках производства.
Диапазон масс 1–100 u; опции 1–200 и 1–300 u
Детектор Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея
Турбомолекулярный насос 60–80 L/s
MLS211
Интегрированная система для непрерывного анализа газов, наблюдения за процессом и передачи результатов в АСУ.
Диапазон масс 1–100, 1–200 или 1–300 u
Детектор Чашка Фарадея или C-SEM с чашкой Фарадея
Квадруполь Ø 6 mm / длина 125 mm
MLS211M
Интегрированная система для процессного газового контроля, проверки чистоты камеры и определения окончания технологической стадии.
Диапазон масс 1–300 u
Разрешение 0,5–2,5 u
Диапазон общего давления 5·10⁻⁹–1000 mbar
OGMS
Индивидуальная система для измерения газовыделения материалов, узлов и изделий в контролируемых вакуумных условиях.
Исполнение камеры По образцу и программе испытаний
Температурный режим По материалу и методике
Метод регистрации Общее давление и/или парциальные давления — по конфигурации
BLD-01
Система обнаружения утечки компонентов электролита для жёстких и пакетных аккумуляторных ячеек.
Режим Ручной / автоматический
Управление Компьютер / сенсорный экран
Питание установки 220 V, 50/60 Hz
BLD-02 PACK
Отдельное направление контроля герметичности собранных аккумуляторных модулей и корпусов PACK.
Объект Собранный PACK-модуль, корпус или отдельный контур
Камера По габаритам, массе и способу загрузки изделия
Метод Определяется контролируемым контуром и трассером
DEMS
Наблюдение непосредственно в процессе за газами и летучими продуктами электрохимических реакций во времени.
Режим Непосредственно в процессе, по временной программе
Сигналы Масс-спектрометрия синхронно с током и потенциалом
Ячейка По электрохимической системе и требуемому газообмену
Custom Vacuum
Проектирование вакуумного стенда вокруг процесса, камеры, откачки, измерения и автоматизации.
Рабочее и предельное давление По технологическому процессу
Камера По объёму, материалам, тепловому режиму и чистоте
Откачка По газовой нагрузке, проводимости и времени цикла
Системы по выбранным условиям не найдены. Сбросьте фильтры или измените запрос.
Настройки cookies
Обязательные cookies нужны для работы сайта. Аналитика Google и Яндекса включается только с вашего согласия и только после настройки владельцем сайта.
Только обязательные Разрешить аналитику