Назначение и границы
RGA подключается к вакуумной системе и регистрирует массовый спектр остаточной газовой среды. Его применяют для анализа фона, следовых загрязнений, чистоты камеры и изменений процесса во времени.
Официальная линейка включает PGT100F, PGT100M, PGT200F и PGT200M: диапазон 100 или 200 amu и чашку Фарадея либо электронный умножитель. Предел обнаружения в таблице производителя указан для времени выдержки 256 ms, поэтому сравнивать чувствительность без режима измерения некорректно.
Инженерная конфигурация включает не только анализатор: важны давление и проводимость соединения, материалы тракта, прогрев, защита при росте давления, фоновый спектр и процедура калибровки для выбранных газов.
Физическая основа
Принцип работы
Молекулы остаточного газа ионизируются электронным ударом. Комбинация постоянного и высокочастотного напряжений на четырёх стержнях пропускает к детектору ионы выбранного отношения массы к заряду. Последовательный перебор настройки формирует спектр; парциальные давления получают только после учёта фона и газозависимой чувствительности.
Технологический граф
Измерительный тракт
Последовательность показывает, где формируется результат и какие узлы проверяются совместно.
- Вакуумная камераГаз поступает через короткое проводимое соединение; анализ относится к точке подключения.
- Ионный источникНейтральные молекулы превращаются в ионы и дают характерные фрагменты.
- КвадрупольПоле фильтрует ионы по отношению массы к заряду в выбранном диапазоне.
- ДетекторЧашка Фарадея или электронный умножитель преобразует поток ионов в сигнал.
- Спектр и трендыПрограмма сохраняет пики, временные ряды, фон и результаты калибровки.
Функциональный состав
Компоненты измерительной системы
Перечень показывает узлы, упомянутые в описании и измерительном тракте. Точная комплектация подтверждается для проекта.
Навигация по применению
Задачи, для которых рассматривают систему
Ссылки открывают каталог с уже выбранной задачей. Окончательный выбор зависит от точки отбора, давления, состава среды, времени отклика и интеграции.
Результаты
Что получает пользователь
- Массовый спектр в выбранном диапазоне
- Временные тренды выбранных масс
- Сравнение фона, прогрева и технологических стадий
- Парциальные давления после калибровки для конкретного газа
Области применения
Матрица выбора
Исполнения PGT
Официальная таблица разделяет четыре исполнения по верхней границе диапазона и типу детектора.
| Исполнение | Диапазон масс | Детектор | Длина сенсора | Минимальное парциальное давление |
|---|---|---|---|---|
| PGT100F | 1–100 amu | Чашка Фарадея (FC) | 14,4 cm | 3,5·10⁻¹⁰ Pa |
| PGT100M | 1–100 amu | Электронный умножитель (EM) | 19,6 cm | 2·10⁻¹² Pa |
| PGT200F | 1–200 amu | Чашка Фарадея (FC) | 14,4 cm | 3,5·10⁻¹⁰ Pa |
| PGT200M | 1–200 amu | Электронный умножитель (EM) | 19,6 cm | 2·10⁻¹² Pa |
Предел обнаружения приведён производителем при времени выдержки 256 ms. Единица Pa сохранена без пересчёта.
Исходные данные
Что нужно определить до конфигурации
- Базовое и максимальное давление в точке подключения
- Перечень целевых газов, фрагментов и ожидаемых парциальных давлений
- Фланец, длина, диаметр и проводимость соединения с камерой
- Материалы тракта и допустимая температура прогрева
- Режимы сканирования, тренды, тревоги и экспорт данных
Приёмка
Что проверяют на стенде
- Фоновый спектр после согласованного прогрева и стабилизации
- Разделение контрольных пиков на эталонной газовой смеси
- Повторяемость отношений выбранных масс в серии циклов
- Время отклика на контролируемое изменение состава
Инженерные границы
Что нельзя выводить из паспортной строки
- Измеряется газовая среда в точке подключения, а не среднее по всей камере
- Один массовый пик может включать фрагменты нескольких молекул
- Рабочее давление сенсора нельзя превышать; для более высокого давления нужен узел отбора
- Электронный умножитель требует контроля усиления и защиты от перегрузки
- Количественный состав нельзя выводить из интенсивности без калибровки
Патенты и научные публикации
Основания инженерной методики
Публикации Actmass по теме
Патентная связь показывает направление разработки, но не доказывает включение описанного узла в конкретную комплектацию.
