Газовый анализ и вакуумная диагностика для MBE, PVD, CVD, ALD и смежных операций.
Ключевыми исходными данными являются давление в точке анализа, состав технологической среды, ожидаемые примеси, время отклика и интерфейс автоматизации. Для высоковакуумной камеры обычно рассматривают RGA; для переносных измерений — PGA или мобильный BLD-02; для непрерывной интеграции — MLS211.
RGA / PGT
RGA — анализатор остаточных газов
Контроль состава газовой среды и парциальных давлений непосредственно в вакуумных процессах.
PGA
PGA — портативный газоанализатор
Переносная система квадрупольного анализа для вакуумной диагностики, технологических газов и поиска утечек.
BLD-02 Mobile
BLD-02 — мобильный газовый анализатор
Мобильная станция для анализа газов и процессов в разных точках производства.
MLS211
MLS211 — онлайн-масс-спектрометр
Интегрированная система для непрерывного анализа газов, наблюдения за процессом и передачи результатов в АСУ.
MLS211M
MLS211M — процессный газоанализатор
Интегрированная система для процессного газового контроля, проверки чистоты камеры и определения окончания технологической стадии.
OGMS
OGMS — измерение скорости газовыделения
Индивидуальная система для измерения газовыделения материалов, узлов и изделий в контролируемых вакуумных условиях.