Перейти к содержимому

База знаний · 04.09.2026

Настройка пиков и контроль массовой шкалы RGA

Как центр, ширина и форма контрольного пика используются для проверки квадрупольного масс-анализатора.

Настройка квадрупольного масс-спектрометра должна отвечать на два разных вопроса: находится ли пик на ожидаемой массовой позиции и сохраняет ли он требуемую форму. Смещение центра ухудшает соответствие каналов, а чрезмерная ширина повышает взаимное влияние соседних масс. Слишком узкий или нестабильный пик также не гарантирует пригодность результата.

Известная проба и заданные массы

Контроль начинают со стабильной пробы известного состава и заранее выбранного набора масс. Фиксируют давление, режим ионного источника, детектор, выдержку и историю прогрева. Использование нескольких точек диапазона позволяет проверить шкалу, а не только один локальный максимум.

Что описывает патент INFICON

US12347667B2 рассматривает автоматическую настройку датчика RGA: к измеренным данным подбирают модель пика, определяют его центр и ширину, сравнивают с заданными допусками и итерационно изменяют параметры. Если установленное число итераций не приводит к допуску, процедура должна выдать предупреждение и потребовать вмешательства. Это полезный пример алгоритма контроля, но не инструкция и не подтверждённая функция конкретной системы Actmass.

Не копировать чужой допуск

Числа и способы регулирования из патента относятся к раскрытому варианту и не должны автоматически становиться приёмочными нормами другого прибора. Для проекта допускаемые смещение, ширину и повторяемость задают по назначению, разрешению, диапазону и документации выбранного исполнения. Любое изменение RF, DC или внутренних коэффициентов выполняют только по штатной процедуре производителя.

Контроль после обслуживания

Массовую шкалу и форму пиков проверяют после замены источника или детектора, изменения кабелей, длительного простоя, перегрузки и заметного дрейфа. Сохраняют исходный и итоговый спектры, коэффициенты, число итераций и причину остановки. Отдельно проверяют фон и чувствительность: правильный центр пика не доказывает стабильность амплитуды.

Связь с выбором системы

Контроль шкалы относится к полной измерительной цепочке и дополняет калибровку относительной чувствительности. Для прямой вакуумной диагностики применяют карточку RGA; для систем с пробоотбором требования дополняют задержкой, фоном и проверкой транспортного тракта.


Материал носит инженерно-справочный характер. Параметры конкретной системы необходимо проверять по документации и программе испытаний.